您好,欢迎来到达州工业云! 平台首页 企业驾驶舱 帮助中心 企业登录 企业注册

HI,欢迎使用达州工业云平台!

账号必须大于2位

创新资源平台
服务平台首页>专利库>专利详情

一种带有导流装置的多晶硅铸锭炉

  • 申请号:2016100829540 申请公布号: CN105603522B
  • 申请日: 2016-02-03 申请公布日: 2017-12-22
  • 申请(专利权)人:重庆市龙泉汽车配件有限公司 专利代理机构: 自营(400-008-2859)
  • 分类号:C30B29/06

专利介绍

本发明公开了一种带有导流装置的多晶硅铸锭炉,包括隔热笼、输气管和导流装置;导流装置设置多条导流气道,用于将输入载气分成多条出射载气流,载气流分散倾斜地吹射液态硅表面的不同区域,有效地增加了载气和液态硅表面的接触面积,载气流从单位面积上带走的热量更少,该区域液态硅的温度降幅减少,过冷度减小,降低了载气所导致的杂质形核及杂质形成。出射载气流对液态硅产生载气应力,其驱动液态硅流动,并形成作周向流动的旋转流场;旋转流场有利于液态硅中质杂的输运和均匀分布。炉顶的观察窗经导流装置具有通向铸锭炉内的视场,通过观察窗可察看炉内的状态、将测晶棒插到炉内,红外探测仪可探测炉内硅料的状态,自动长晶工艺顺利地进行。